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硅時(shí)代電子科技為您解答 mems加工技術(shù)工藝與ic工藝區(qū)別

2020-07-07 15:17

蘇州硅時(shí)代電子科技有限公司（Si－Era），位于國內(nèi)最的大的MEMS產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)——蘇州納米城。利用MEMS領(lǐng)域近20年的技術(shù)積累，在MEMS傳感器、生物MEMS、光學(xué)MEMS以及射頻MEMS方面都擁有大量的設(shè)計(jì)和工藝經(jīng)驗(yàn)。

MEMS加工技術(shù)工藝是根據(jù)產(chǎn)品需要，在各類襯底（硅襯底，玻璃襯底，石英襯底，藍(lán)寶石襯底等等）制作微米級(jí)微型結(jié)構(gòu)的加工工藝。而ic工藝則側(cè)重于半導(dǎo)體器件的制作，其襯底基本以硅襯底為主，少數(shù)特殊器件會(huì)使用GaAs／GaN等材料，其工藝核心是為了制作高集成度的各類器件，目前已經(jīng)做到納米級(jí)，特征尺寸更加精細(xì)。

MEMS加工技術(shù)工藝制作的微型結(jié)構(gòu)主要是作為各類傳感器和執(zhí)行器等，其中更加器件原理需要而制作的可動(dòng)結(jié)構(gòu)（齒輪，懸臂梁，空腔，橋結(jié)構(gòu)等等）以及各種功能材料，本質(zhì)上是將環(huán)境中的各種特征參數(shù)（溫度，壓力，氣體，流量等等）變化通過微型結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)化為各種電信號(hào)（電壓，電阻，電流等等）的差異，以實(shí)現(xiàn)小型化高靈敏的傳感器和執(zhí)行器。

ic工藝則側(cè)重各類半導(dǎo)體電學(xué)器件的加工，其工作都是圍繞各類電學(xué)性能展開，不涉及外界環(huán)境物理參數(shù)，其要求重點(diǎn)是各類器件的高集成和高精度，加工尺寸根據(jù)摩爾定律有最初的微米級(jí)提升至目前的納米級(jí)。其涉及的各類材料更多的考量電學(xué)性能優(yōu)化，不關(guān)注環(huán)境參數(shù)。

IDM廠主要制造自己產(chǎn)品，同時(shí)也會(huì)利用富余產(chǎn)能對(duì)外代工服務(wù)，國內(nèi)靠譜的IDM MEMS代工廠主要有士蘭微電子，華潤(rùn)微電子，美太電子等。

純MEMS代工廠根據(jù)規(guī)劃和業(yè)務(wù)重點(diǎn)分為量產(chǎn)大批量代工和小批量中試線：

量產(chǎn)大批量MEMS代工廠國內(nèi)主要有臺(tái)積電，中芯國際（紹興），華潤(rùn)上華等，目前正在建設(shè)中的Silex北京也值得期待；

小批量MEMS中試線代工廠國內(nèi)主要有上海新微8寸中試線，蘇州微納6寸中試線等，同時(shí)中科院納米所，微電子所等研究機(jī)構(gòu)也提供可靠的小批量MEMS代工業(yè)務(wù)。

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